全自動缺陷測試顯微系統(tǒng)項目已具備招標條件。資金情況已落實。中科信工程咨詢（北京） （招標代理機構）受中國航空工業(yè)集團公司西安飛行自動控制研究所（招標人）的委托，對該項目進行國際公開招標采購。

1. 招標范圍

1.1 貨物名稱：全自動缺陷測試顯微系統(tǒng)

1.2 招標編號：0779-25400341A064

1.3 項目概況：

本設備主要由主機、傳送系統(tǒng)以及缺陷處理分析軟件系統(tǒng)組成。設備采用光學成像良品對比的方式，應用于量子傳感項目中前道工藝的ADI和AEI后的晶圓缺陷檢測工藝，可兼容檢測和識別各類不規(guī)則瑕疵：劃傷、顆粒、殘膠、沾污、圖形缺失，對準偏移等，并可以對缺陷進行精準分類、計數(shù)，以及兼容線寬和套刻偏差的檢測。

主要技術指標：

適用于6英寸晶圓, 同時可兼容8 英寸晶圓；

設備傳片方式：機械手全自動傳片；

支持ADI/AEI缺陷檢測, 可自動識別、對比、和判斷缺陷；

檢測鏡頭配置5X，10X，20X，30X倍率物鏡，缺陷確認配置X10，X20倍率物鏡；

更多技術指標詳見第八章。

1.4 數(shù)量：1套。

1.5 交貨期：合同簽訂后7個月內交貨。

1.6 項目現(xiàn)場：中國航空工業(yè)集團公司西安飛行自動控制研究所指定地點。

2. 對投標人的資格要求

2.1 投標人必須是響應招標的法人或其他組織，具有獨立承擔民事責任能力。

2.2本次招標接受代理商投標，代理商必須獲得制造商的合法授權，提供制造商授權書。授權書包括制造商直接開具的；或制造商的獨資公司開具的（同時須提供制造商與獨資子公司的關系說明，并由雙方簽字或者蓋章）。

2.3本項目不接受聯(lián)合體投標。

2.4投標人必須向招標代理機構

3. 招標文件獲取

3.1 潛在投標人將付款憑證（形式不限）和發(fā)票上傳交易平臺，經招標人(代理機構)確認后，才能獲得招標文件的下載權限。

3.3 投標人必須在中航工業(yè)電子采購平臺注冊，辦理CA數(shù)字證書與電子簽章，否則無法投標。（詳見中航工業(yè)電子采購平臺相關說明）。

4.
未在中國電力招標采購網（www.wyfenghuang.cn）上注冊會員的單位應先點擊注冊。登錄成功后的在 招標會員 區(qū)根據(jù)招標公告的相應說明獲取招標文件！
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來源：中國電力招標采購網
備注：欲購買招標文件的潛在投標人,注冊網站并繳納因特網技術及商務信息服務費后，查看項目業(yè)主，招標公告并下載資格預審范圍，資質要求，
招標清單，報名申請表等。為保證您能夠順利投標，具體要求及購買標書操作流程按會員區(qū)招標信息詳細內容為準。
編輯：ebid.eavic