原子層沉積系統(tǒng)【重新招標(biāo)】項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件。資金情況已落實(shí)。中科信工程咨詢（北京） （招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)）受中國航空工業(yè)集團(tuán)公司西安飛行自動控制研究所（招標(biāo)人）的委托，對該項(xiàng)目進(jìn)行國際公開招標(biāo)采購。

1. 招標(biāo)范圍

1.1 貨物名稱：原子層沉積系統(tǒng)

1.2 招標(biāo)編號：0779-25400341A069

1.3 項(xiàng)目概況：

該原子層沉積系統(tǒng)用于 MEMS制造領(lǐng)域，在 6 英寸和 8 英寸晶圓上實(shí)現(xiàn) Al?O?（氧化鋁）、TiN（氮化鈦）等材料的高質(zhì)量沉積。設(shè)備應(yīng)具備高均勻性、高臺階覆蓋能力（深寬比≥5:1），滿足復(fù)雜三維結(jié)構(gòu)薄膜沉積的需求。

原子層沉積系統(tǒng)由反應(yīng)腔、預(yù)真空腔、真空抽氣系統(tǒng)、前驅(qū)體源管路系統(tǒng)和控制系統(tǒng)等組成。

主要技術(shù)指標(biāo)：

適用于6英寸和8英寸晶圓；

具備沉積Al2O3、TiN的能力；

階梯覆蓋（深寬比5:1）：≥90%；

膜層沉積均勻性：≤5%；

更多技術(shù)指標(biāo)詳見第八章。

1.4 數(shù)量：1臺。

1.5 交貨期：合同簽訂后8個月內(nèi)交貨。

1.6 項(xiàng)目現(xiàn)場：中國航空工業(yè)集團(tuán)公司西安飛行自動控制研究所指定地點(diǎn)。

2. 對投標(biāo)人的資格要求

2.1 投標(biāo)人必須是響應(yīng)招標(biāo)的法人或其他組織，具有獨(dú)立承擔(dān)民事責(zé)任能力。

2.2本次招標(biāo)接受代理商投標(biāo)，代理商必須獲得制造商的合法授權(quán)，提供制造商授權(quán)書。授權(quán)書包括制造商直接開具的；或制造商的獨(dú)資公司開具的（同時須提供制造商與獨(dú)資子公司的關(guān)系說明，并由雙方簽字或者蓋章）。

2.3本項(xiàng)目不接受聯(lián)合體投標(biāo)。

2.4投標(biāo)人必須向招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)

3. 招標(biāo)文件獲取

3.1 潛在投標(biāo)人將付款憑證（形式不限）和發(fā)票上傳交易平臺，經(jīng)招標(biāo)人(代理機(jī)構(gòu))確認(rèn)后，才能獲得招標(biāo)文件的下載權(quán)限。

3.3 投標(biāo)人必須在中航工業(yè)電子采購平臺注冊，辦理CA數(shù)字證書與電子簽章，否則無法投標(biāo)。（詳見中航工業(yè)電子采購平臺相關(guān)說明）。

4.
未在中國電力招標(biāo)采購網(wǎng)（www.wyfenghuang.cn）上注冊會員的單位應(yīng)先點(diǎn)擊注冊。登錄成功后的在 招標(biāo)會員 區(qū)根據(jù)招標(biāo)公告的相應(yīng)說明獲取招標(biāo)文件！
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